用于挠性板件和基板接触的方法和系统

摘要

本发明涉及一种以改进的横向对准使挠性板件接触到第一元件的方法。该方法包括步骤：在第一阶段中在建立挠性板件与第一元件及称为锚件的板件驻留表面任意其一之间的第一接触之后，测量第一横向未对准。如果该未对准超出预定阈值，挠性板件驻留在锚件使得其不接触第一元件，且第一元件和锚件的相对位置在第二阶段被变更以校正在该方法下一步骤内将建立的挠性板件和第一元件之间接触期间的失配。在偏移接触点以得到第二阶段的步骤期间，与用于建立初始接触的工艺相比，该接触工艺更精确和可重复。本发明还涉及用于执行该方法的设备以及该方法和设备用于制作装置的用途。

主权项

一种用于使挠性板件的板件表面和第一元件的第一接触表面接触的方法，包括下述步骤：a.提供具有用于接触该板件表面的锚件表面的锚件，该锚件表面和该第一元件的第一接触表面具有彼此可调整的第一相对横向位置；b.使用第一接触工艺来建立该方法的第一接触阶段，在该第一接触阶段中，该板件表面的至少第一部分接触该锚件表面或该第一接触表面；c.在该第一接触阶段时，确定该板件表面相对于该板件表面所接触的所述锚件表面或所述第一接触表面的第一横向未对准；d.如果该第一横向未对准超过阈值，则建立该方法的第二接触阶段，在该第二接触阶段中，该板件表面的一部分接触该锚件表面而该板件表面的任何部分都不接触该第一接触表面；e.在该第二接触阶段时，调整该第一相对横向位置以校正该第一横向未对准；以及f.使用第二接触工艺来建立该方法的第三接触阶段，该第三接触阶段中，该板件表面接触该锚件表面和该第一接触表面，该第二接触工艺比该第一接触工艺更精确。