发明名称 基材处理室用的套组和靶材
摘要
申请公布号 TWI435941 申请公布日期 2014.05.01
申请号 TW095140305 申请日期 2006.10.31
申请人 应用材料股份有限公司 美国 发明人 史奇宝凯萨琳;法兰干麦可艾伦;良土芽吾一;艾伦阿道夫米勒;帕夫洛夫克里斯多福
分类号 C23C14/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址 美国