发明名称 半导体元件及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI436424 申请公布日期 2014.05.01
申请号 TW101111864 申请日期 2012.04.03
申请人 国立台湾大学 台北市大安区罗斯福路4段1号 发明人 杨志忠;陈鸿祥;丁绍滢;廖哲浩;陈志谚;谢劼;陈浩宗;姚毓峰;叶东明
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 台北市大安区罗斯福路4段1号