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发明名称
成像系统、远心轴上暗场照明装置以及用于对准远心轴上暗场照明装置与实质镜状物体之方法
摘要
申请公布号
TWI436050
申请公布日期
2014.05.01
申请号
TW095125065
申请日期
2006.07.10
申请人
伊雷克托科学工业股份有限公司 美国
发明人
里欧 鲍德温;约瑟Ｊ. 伊莫瑞
分类号
G01N21/88
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址
美国
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