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经营范围
发明名称
基板处理方法、基板处理装置及控制程式
摘要
申请公布号
TWI436416
申请公布日期
2014.05.01
申请号
TW095103873
申请日期
2006.02.06
申请人
荏原制作所股份有限公司 日本
发明人
井上雄贵;福永明;小川贵弘
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项
地址
日本
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