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经营范围
发明名称
多通道气体输送系统、多通道流量比控制器系统及控制气体流率比之方法
摘要
申请公布号
TWI436183
申请公布日期
2014.05.01
申请号
TW097105658
申请日期
2008.02.19
申请人
MKS公司 美国
发明人
丁军华;勒卡尔
分类号
G05D11/13
主分类号
G05D11/13
代理机构
代理人
林秋琴 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;何爱文 台北市大安区敦化南路1段245号8楼
主权项
地址
美国
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