发明名称 多通道气体输送系统、多通道流量比控制器系统及控制气体流率比之方法
摘要
申请公布号 TWI436183 申请公布日期 2014.05.01
申请号 TW097105658 申请日期 2008.02.19
申请人 MKS公司 美国 发明人 丁军华;勒卡尔
分类号 G05D11/13 主分类号 G05D11/13
代理机构 代理人 林秋琴 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;何爱文 台北市大安区敦化南路1段245号8楼
主权项
地址 美国