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经营范围
发明名称
化学机械抛光液
摘要
申请公布号
TWI435923
申请公布日期
2014.05.01
申请号
TW100141939
申请日期
2011.11.17
申请人
安集微电子(上海)有限公司 中国
发明人
王晨;何华锋
分类号
C09G1/02;C09K3/14;C23F3/00;H01L21/3213
主分类号
C09G1/02
代理机构
代理人
冯博生 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
中国
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