发明名称 化学机械抛光液
摘要
申请公布号 TWI435923 申请公布日期 2014.05.01
申请号 TW100141939 申请日期 2011.11.17
申请人 安集微电子(上海)有限公司 中国 发明人 王晨;何华锋
分类号 C09G1/02;C09K3/14;C23F3/00;H01L21/3213 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人 冯博生 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 中国