具有各个主动支撑组件的光学成像布置

摘要

本发明提供一种光学成像布置，其包含光学投射单元和控制装置。该光学投射单元包含支撑结构和光学元件单元组，该光学元件单元组适于在沿着曝光光路利用曝光光的曝光过程中，将掩模单元的图案的像转印于基板单元的基板上。该光学元件单元组包含第一光学元件单元和多个第二光学元件单元，第一光学元件单元和第二光学元件单元在所述控制装置的控制下由支撑结构主动支撑。第一光学元件单元在低的第一控制带宽下被主动支撑，而第二光学元件单元在第二控制带宽下被主动支撑，以实质上维持第二光学元件中的每一个关于第一光学元件单元的给定空间关系。

主权项

一种光学成像布置，包含：‑光学投射单元；及‑控制装置；‑所述光学投射单元包含支撑结构和光学元件单元组，该光学元件单元组适于在沿着曝光光路利用曝光光的曝光过程中，将掩模单元的图案的像转印于基板单元的基板上；‑所述光学元件单元组包含第一光学元件单元和多个第二光学元件单元；‑所述第一光学元件单元和所述二光学元件单元在所述控制装置的控制下由所述支撑结构主动支撑；‑所述第一光学元件单元在低的第一控制带宽下被主动支撑；‑所述第二光学元件单元在第二控制带宽下被主动支撑，以基本上维持所述第二光学元件中的每一个关于所述第一光学元件单元的给定空间关系。