一种可制作多种二维光子晶体结构的方法及其装置

摘要

本发明公开了一种可制作多种二维光子晶体结构的方法，包括：发射激光束；将激光束经过多透镜部件转换成多束相干光束；使相干光束经过傅里叶变换后发生干涉，产生干涉图案；将干涉图案投射到感光材料上以在感光材料内形成光子晶体结构。本发明提高了激光束的能量利用率，同时能够可调节地制作不同周期尺度和不同面积大小的二维光子晶体结构。本发明还公开了一种可制作多种二维光子晶体结构的装置。

主权项

一种可制作多种二维光子晶体结构的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一：发射激光束；步骤二：将所述激光束经过多透镜部件转换成多束相干光束；步骤三：使所述相干光束经过傅里叶变换后发生干涉，产生干涉图案；步骤四：将所述干涉图案投射到感光材料上以在所述感光材料内形成光子晶体结构。