一种用于调节温度和功率空间分布的梯度阻抗模块

摘要

本发明属于化学气相沉积工艺腔室物理场耦合技术领域，特别涉及一种用于调节温度和功率空间分布的梯度阻抗模块。该阻抗模块设置在化学气相沉积设备的基台和衬底之间，阻抗模块由阻抗模块绝缘隔热层分隔为若干个阻抗介质区；阻抗模块一侧为平面，另一侧为空间曲面，通过改变阻抗模块空间曲面一侧的外形，或者各个阻抗介质区采用不同的填充介质，使得阻抗模块的阻抗在法平面内具有一定的分布梯度，进而实现透过该模块的能量在法平面内具有一定分布梯度。本发明无需改变原有设备结构，只需增加一个阻抗模块，且针对不同的调控需求，仅需更换不同的阻抗模块，该方案运用模块化思想，廉价、高效，为实现多物理场空间分布的调控提供了一种有效的解决方案。

主权项

一种用于调节温度和功率空间分布的梯度阻抗模块，设置在化学气相沉积设备的基台和衬底之间，其特征在于，所述阻抗模块（15）由阻抗模块绝缘隔热层（152）分隔为若干个阻抗介质区（151）；阻抗模块（15）一侧为平面，另一侧为空间曲面，通过改变阻抗模块（15）空间曲面一侧的外形，使阻抗模块在法平面内的阻抗分布具有一定梯度，进而实现了透过阻抗模块的能量具有一定分布梯度；或者各个阻抗介质区（151）采用不同的填充介质，使得阻抗模块的阻抗在法平面内具有一定的分布梯度，进而实现透过该模块的能量在法平面内具有一定分布梯度。