包括有转移到支持器的图形元件的物体及制造该物体的方法

摘要

一种物体(100)，设有至少为一个的图形元件，包括至少由一金属组成的至少一层(6′、6″)，依照图形元件的图案被蚀刻，所述层的第一面被定位成面对至少部分透明的基体(2))的至少一面，第二面面对被至少一钝化层(12′)覆盖的所述层的第一面，钝化层(12′)利用晶圆结合固定到至少一支持器(20)的至少一面，和与支持器形成单石结构，所述层包括至少在第二面，使至少一区域(10)由所述金属和至少一半导体组成。

主权项

一种物体(100)，设有至少为一个的图形元件，其特征在于，其包括至少由一金属组成的至少一层(6、6′、6″)，依照图形元件的图案被蚀刻，所述至少由一金属组成的所述层(6、6′、6")的第一面被定位成面对至少部分透明的基体(2)的至少一面，第二面面对被至少一钝化层(12、12′)覆盖的所述至少由一金属组成的所述层(6、6′、6")的第一面，所述钝化层(12、12′)利用晶圆结合固定到至少一支持器(20)的至少一面，所述基体(2)和与所述支持器(20)形成单石结构，所述至少由一金属组成的所述层(6、6′、6")包括至少在第二面，使至少一区域(10)由所述金属和至少一半导体组成。