基于四芯光纤光栅的三维微尺度测量装置及方法

摘要

基于四芯光纤光栅的三维微尺度测量装置及方法属于精密仪器制造及测量技术领域；所述装置包括宽频光源、光谱分析仪、光环形器、控制计算机、多路光开关和外部参考光栅，四根单模光纤分别将多路光开关与四芯光纤扇出器连通，四芯光纤的一端连接在四芯光纤扇出器上，在四芯光纤的另一端部上通过探针夹持器固装四芯光纤光栅探针，所述四芯光纤与四芯光纤光栅探针连接形成通路；所述方法是控制计算机控制多路光开关切换光路，使用光谱分析仪分别测量光纤光栅的反射光谱，并利用差分数据处理算法，实现无温度耦合的三维微尺度测量。本发明具有精度高、接触力小、不受遮蔽效应影响、探针使用寿命长的特点。

主权项

一种基于四芯光纤光栅的三维微尺度测量装置，包括宽频光源(1)、光谱分析仪(2)、光环型器(3)、控制计算机(4)、多路光开关(5)和外部参考光栅(7)，所述宽频光源(1)和光谱分析仪(2)分别与光环型器(3)连接，光环形器(3)与多路光开关(5)、多路光开关(5)与控制计算机(4)、控制计算机(4)与光谱分析仪(2)、多路光开关(5)与外部参考光栅(7)连接形成通路，其特征在于四根单模光纤(6)分别将多路光开关(5)与四芯光纤扇出器(8)连通，四芯光纤(9)的一端连接在四芯光纤扇出器(8)上，在四芯光纤(9)的另一端部上通过探针夹持器(10)固装四芯光纤光栅探针(11)，所述的四芯光纤(9)与四芯光纤光栅探针(11)连接形成通路。