| 发明名称 |
Handle wafer with viewing windows |
| 摘要 |
<p>L'invention concerne un procédé de réalisation d'une plaquette (20') poignée pour des plaquettes fonctionnelles microélectroniques, comportant au moins une fenêtre transparente (22, 24) de visualisation à travers l'épaisseur de la plaquette poignée, ce procédé comportant :
a) la réalisation d'au moins une cavité (21, 23) dans ladite plaquette poignée,
b) la formation d'au moins une fenêtre de visualisation dans ladite cavité, sur une surface d'alignement ou d'accueil.</p> |
| 申请公布号 |
EP2273548(A3) |
申请公布日期 |
2014.04.30 |
| 申请号 |
EP20100168442 |
申请日期 |
2010.07.05 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES |
发明人 |
SOURIAU, JEAN-CHARLES;CAPLET, STEPHANE |
| 分类号 |
H01L23/544;B81C3/00;H01L21/68;H01L21/683 |
主分类号 |
H01L23/544 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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