主权项 |
一种磁悬浮分子泵动平衡方法,其特征在于:包括①启动所述磁悬浮分子泵的电机(8)开始升速,开启磁悬浮分子泵控制器(2)中的不平衡振动控制模块,由所述磁悬浮分子泵控制器(2)控制位移检测装置(18)采集所述磁悬浮分子泵转子的径向位移信号,检测所述转子的径向振幅,如果在所述不平衡振动控制模块的控制下,所述转子上的不平衡质量使所述转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2,那么所述不平衡振动控制模块能够抑制所述转子的同频振动,使转子转速超过其刚性临界转速,顺序执行步骤②;②所述电机(8)继续加速,由所述位移检测装置(18)检测所述转子的径向振动情况,当所述转子的径向振动幅值超过预设非额定转速振幅时,停止所述电机(8)加速,使转子转速稳定在该转速ω<sub>i</sub>(i=0,1,2…)处;由所述磁悬浮分子泵控制器(2)控制转速检测装置(19)检测此时的转速ω<sub>i</sub>;判断转速ω<sub>i</sub>是否小于转子额定转速ω<sub>E</sub>,如果ω<sub>i</sub>小于ω<sub>E</sub>则按顺序执行步骤③,否则执行步骤⑤;③在所述不平衡振动控制模块的控制下,进行转子转速为非额定转速的动平衡操作,使转子转速从零升至ω<sub>i</sub>过程中以及转子转速为ω<sub>i</sub>时,所述转子的径向振动幅值都小于预设非额定转速振幅,之后按顺序执行步骤④;④令i=i+1,重复步骤②;⑤在所述不平衡振动控制模块的控制下,进行转子转速为额定转速动平衡操作,使转子转速从零升至ω<sub>E</sub>过程中,所述转子的径向振动幅值都小于预设非额定转速振幅;并且使转子转速为ω<sub>E</sub>时,所述转子的径向振动幅值小于预设额定转速振幅且所述转子残余的不平衡质量小于预设不平衡质量,至此整个动平衡过程完成。 |