| 发明名称 | 一种基于驻极体的静电式转速传感器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了属于转速传感器技术领域的一种基于驻极体的静电式转速传感器。所述的静电式转速传感器，由衬底、电极和驻极体层依次层叠组成，衬底上制作电极，电极被驻极体材料所覆盖；电极之间绝缘。本发明的基于驻极体的静电式转速传感器不要求被测物体为铁磁器件，具有测试材料广泛，不要求铁磁性材料，任何导电材料皆可，微加工工艺兼容性好、结构简单、成本低等诸多优点。 | ||
| 申请公布号 | CN103760378A | 申请公布日期 | 2014.04.30 |
| 申请号 | CN201410007209.0 | 申请日期 | 2014.01.07 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 边潍;伍晓明;王晓红 |
| 分类号 | G01P3/44(2006.01)I | 主分类号 | G01P3/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人 | 陈波 |
| 主权项 | 一种基于驻极体的静电式转速传感器，其特征在于，主要由衬底、电极和驻极体层依次层叠组成，衬底上制作电极，电极被驻极体材料所覆盖；电极之间绝缘。 | ||
| 地址 | 100084 北京市海淀区100084-82信箱 | ||