一种用于固体表面剥蚀的针尖放电装置

摘要

一种用于固体表面剥蚀的针尖放电装置，属于固体样品中元素分析技术领域。包括高压电源、针体支撑台、针体、样品台、腔体和工作气体；高压电源的电极分别接针体和样品台，针体支撑台设于腔体上部且与腔体密封连接，样品台设于腔体下部且与腔体密封连接，针体穿过针体支撑台伸入腔体，针体的针尖面对样品台表面，腔体内部为密封腔室，腔体设有工作气体的进出口，工作气体位于腔体的密封腔室内。可在从高真空到常压的气压范围内实现放电；可对固体样品表面直接进行剥蚀，所产生的粒子可传输到其它激发源等，所形成等离子体也可直接作为激发源或离子源使用。可在压力范围为1×10^-6～1×10⁶Pa用于固体表面剥蚀。

主权项

一种用于固体表面剥蚀的针尖放电装置，其特征在于，包括高压电源、针体支撑台、针体、样品台、腔体和工作气体；高压电源的电极分别接针体和样品台，针体支撑台设于腔体上部且与腔体密封连接，样品台设于腔体下部且与腔体密封连接，针体穿过针体支撑台伸入腔体，针体的针尖面对样品台表面，腔体内部为密封腔室，腔体设有工作气体的进口和出口，工作气体位于腔体的密封腔室内。