发明名称 铜锌锡硫吸收层薄膜及铜锌锡硫太阳能电池的制备方法
摘要 本发明公开了铜锌锡硫吸收层薄膜的制备方法,采用电化学共沉积CZTS前驱体后硫化得到CZTS太阳能电池吸收层。本发明进一步公开了铜锌锡硫薄膜太阳能电池的制备方法。本发明可在常温常压下操作,易调控,避免H<sub>2</sub>S污染,设备简单,成本节约,制得的铜锌锡硫吸收层薄膜表面光滑且非常致密,制得的电池效率高,本发明可广泛用于大规模工业生产。
申请公布号 CN103762257A 申请公布日期 2014.04.30
申请号 CN201410021101.7 申请日期 2014.01.17
申请人 华东师范大学 发明人 陶加华;孙琳;杨平雄;褚君浩
分类号 H01L31/032(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/032(2006.01)I
代理机构 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 代理人 董红曼
主权项 一种铜锌锡硫吸收层薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)清洗衬底;(2)利用磁控溅射技术在所述衬底上沉积钼背电极薄膜或ITO导电薄膜;(3)按摩尔比为1~4∶0.5~2∶0.5~2∶1~10∶5~50称取硫酸铜、硫酸锌、硫酸锡、硫代硫酸钠和酒石酸钾,溶解于溶剂中,超声得到待镀电解液,接着进行电沉积镀膜,得到致密的铜锌锡硫前驱体薄膜;(4)将前述铜锌锡硫前驱体薄膜和100~2000mg硫粉置于真空条件下进行硫化退火处理,得到所述铜锌锡硫吸收层薄膜。
地址 200062 上海市普陀区中山北路3663号
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