| 发明名称 | 金属纳米球和微球的形成 | ||
| 摘要 | 形成了半球（18）和球（28）并且将它们用于多种应用。半球（18）用于形成具有上表面和下表面的衬底（12）。所述上表面包括具有附着到所述下表面的基底的柱（10）的峰。所述峰具有在所述上表面处由半球金属结构（18）的阵列限定的密度，所述半球金属结构在所述柱的形成期间在蚀刻以去除衬底材料向下到所述下表面的期间用作掩模。所述柱是密集且均匀的并且包括微米级平均直径。所述球被形成为用于其它应用的独立的金属球或纳米颗粒。 | ||
| 申请公布号 | CN103765622A | 申请公布日期 | 2014.04.30 |
| 申请号 | CN201280041548.X | 申请日期 | 2012.08.29 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | A·J·洪;郑宇植;金志焕;罗载雄;D·K·萨达那 |
| 分类号 | H01L51/40(2006.01)I | 主分类号 | H01L51/40(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 于静;张亚非 |
| 主权项 | 一种衬底，包括：上表面和下表面，所述上表面包括附着到所述下表面的柱（10）的峰；所述峰具有在所述上表面处由半球金属结构（18）的阵列限定的密度，所述半球金属结构用作蚀刻掉衬底材料向下到所述下表面以形成所述柱的掩模；所述柱是密集且均匀的并且包括微米级平均直径。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||