衬底预处理设备

摘要

本发明提供了一种衬底预处理设备，包括衬底预处理室和自动控制系统。在本发明提供的衬底预处理设备中，真空系统控制模块、气体流量控制模块、电源控制模块、衬底平台控制模块和传送交接模块等各模块通过收集衬底预处理室内各项参数信号，并将各项参数信号发送给控制总机，所述控制总机根据预设的各项参数对收到的各项参数信号进行处理得到反馈信号，并将该反馈信号反馈给相应的控制模块，相应的控制模块再根据相应的反馈信号对相应的部件，如抽真空设备、进气装置、衬底平台等进行自动调控，实现衬底预处理的自动控制，不仅节省了大量人力，更重要的是能够实现对衬底预处理过程的有效监测，从而能够实现衬底预处理精度、品质和速度的提高。

主权项

一种衬底预处理设备，其特征在于，包括衬底预处理室和自动控制系统；所述衬底预处理室包括：腔体；与所述腔体相通的抽真空设备；与所述腔体相通的进气装置；相对设置在所述腔体内的第一电极和第二电极；与所述第一电极和第二电极相连通的稳压电源；设置在所述第一电极和第二电极之间的衬底平台；与所述腔体相通、用于传送衬底并使所述衬底与所述衬底平台连接或分离的机械传送交接系统，所述机械传送交接系统与所述衬底平台相连接；所述自动控制系统包括：控制总机，分别与所述控制总机相连的真空系统控制模块、气体流量控制模块、电源控制模块、衬底平台控制模块和传送交接模块；其中，所述真空系统控制模块用于采集所述腔体内的真空度信号并将所述真空度信号发送给所述控制总机，以及用于接收所述控制总机依据所述真空度信号生成的反馈信号，并依据所述反馈信号控制抽真空设备；所述气体流量控制模块用于采集腔体内的氧含量信号并将所述氧含量信号发送给所述控制总机，以及用于接收所述控制总机依据所述氧含量信号生成的反馈信号，并依据所述反馈信号控制进气装置；所述电源控制模块用于采集第一电极和第二电极之间的电压信号并将所述电压信号发送给所述控制总机，以及用于接收所述控制总机依据所述电压信号生成的反馈信号，并依据所述反馈信号控制稳压电源；所述衬底平台控制模块用于采集衬底平台的高度信号、位置信号、温度信号和转速信号并将所述高度信号、位置信号、温度信号和转速信号发送给所述控制总机，以及用于接收所述控制总机分别依据所述高度信号、位置信号、温度信号和转速信号生成的反馈信号，并依据各反馈信号控制衬底平台；所述传送交接模块用于接收所述控制总机发送的控制信号，并根据所述控制信号控制机械传送交接系统。