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Mikromechanisches Bauelement (100) mit einem ersten Raum (1), in dem ein erster Sensor (2) angeordnet ist, mit einem zweiten Raum (3), in dem ein zweiter Sensor (4) angeordnet ist, wobei im ersten und im zweiten Raum unterschiedliche Drücke herrschen, dadurch gekennzeichnet, dass sich einer der beiden Räume (1,3) über einen dritten Raum (5) zu einer ersten Gitterstruktur (6) erstreckt, die in einem Randbereich des Bauelements (100) angeordnet und im Wesentlichen hermetisch dicht verschlossen ist. |
