| 发明名称 | 用于对静电卡盘进行热水密封的系统和方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了用于处理双极ESC的方法，所述双极ESC具有前表面和后表面，所述前表面包括阳极化层。所述方法包括：除去阳极化层；将新的阳极化层布置在所述前表面上；以及用水来处理新的阳极化层以密封所述新的阳极化层。 | ||
| 申请公布号 | CN103764879A | 申请公布日期 | 2014.04.30 |
| 申请号 | CN201280041465.0 | 申请日期 | 2012.08.24 |
| 申请人 | 朗姆研究公司 | 发明人 | 石洪;黄拓川;大卫·谢弗;安巴理什·查哈特;约翰·多尔蒂;赖安·吴;克利夫·拉克鲁瓦 |
| 分类号 | C25D5/16(2006.01)I;C25D11/18(2006.01)I;B23P6/00(2006.01)I | 主分类号 | C25D5/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人 | 李献忠 |
| 主权项 | 一种处理双极静电卡盘的方法，所述双极静电卡盘具有前表面和后表面，所述前表面具有阳极化层，所述方法包括：除去所述阳极化层；将新阳极化层布置在所述前表面上；以及用水来处理所述新阳极化层以密封所述新阳极化层。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||