单晶硅棒截断金刚石线锯装置

摘要

本发明公开了一种单晶硅棒截断金刚石线锯装置，包括切断单晶硅棒的金刚石线锯，所述金刚石线锯包括两条以上的环形金刚石锯丝，各条环形金刚石锯丝分别由不同的导轮组张紧而形成两个以上的切割面，各切割面相互平行且之间的距离可调节；各条环形金刚石锯丝对单晶硅棒的切割段处于与单晶硅棒轴线平行的同一平面上；所述切割段两端的环形金刚石锯丝上设有导向轮。本发明采用多条平行的环形金刚石锯丝同时将单晶硅棒截断多段，充分有效利用环形金刚石锯丝单方向、无惯性力、高速运动的特性，相比金刚石单线锯可提高加工效率3倍～5倍。

主权项

单晶硅棒截断金刚石线锯装置，包括切断单晶硅棒（4）的金刚石线锯，其特征在于：所述金刚石线锯包括两条以上的环形金刚石锯丝（1），各条环形金刚石锯丝（1）分别由不同的导轮组张紧而形成两个以上的切割面，各切割面相互平行且之间的距离可调节。