一种多晶硅铸锭炉用碳纤维保温底板及其制造方法

摘要

本发明涉及一种多晶硅铸锭炉用碳纤维保温底板及其制造方法，所述碳纤维保温底板包括密度为0.1～0.4g/cm³的碳纤维保温板、石墨纸，石墨纸由专用有机高温粘合剂粘贴在碳纤维板表层；其制造方法分制作碳纤维板、机械加工、制备专用有机高温粘合剂和粘贴石墨纸等步骤。与现有技术相比，本发明的有益效果是：用此种方法制造的碳纤维保温底板能够有效防止炉内气体渗透，保温效果好，同时此种碳纤维保温底板具有抗气流冲刷和一定的抗氧化性，与炉内气体反应的损耗小，在高温环境下的使用寿命长。

主权项

一种多晶硅铸锭炉用碳纤维保温底板，包括刚性碳纤维保温板、石墨纸，所述石墨纸由粘结剂粘贴在碳纤维板表层，其特征在于，所述刚性碳纤维保温板的密度为0.1～0.4g/cm³，所述刚性碳纤维保温板通过机械加工具有0.0008～0.007的坡度；所述的石墨纸厚度为0.2～1.5mm。