同轴探针

摘要

本发明公开一种可提高耐久性和生产率的同轴探针。所公开的同轴探针的特征在于包括：内部导体，其包括上部接触器、下部接触器和内部弹性构件，所述上部接触器可与半导体装置接触，所述下部接触器可与用以对所述半导体装置进行测试的测试器接触，所述内部弹性构件使所述上部接触器和所述下部接触器中的至少一个弹性偏移；外部导体，其包围所述内部导体；多个间隙构件，其分别插入至所述内部导体与所述外部导体之间的两端；和至少一个外部弹性构件，其插入于所述外部导体的外周面，从而在远离外部导体的方向弹性偏移半导体装置和测试器的至少一个。

主权项

一种同轴探针，包括：内部导体，包括上部接触器、下部接触器和内部弹性构件，所述上部接触器配置为与半导体装置接触，所述下部接触器配置为接触用于测试所述半导体装置的测试器，所述内部弹性构件配置为弹性偏移所述上部接触器和所述下部接触器的至少一个，以使所述上部接触器和所述下部接触器彼此远离；外部导体，配置为包围所述内部导体；多个间隙构件，分别地插入在所述内部导体与所述外部导体之间的相对两端，以使在所述内部导体与所述外部导体之间产生预定空隙；和至少一个外部弹性构件，插入所述外部导体的外周面，以弹性偏移所述半导体装置和所述测试器的至少一个到使所述半导体装置或所述测试器远离所述外部导体的方向。