用于器件制造的光刻设备的辐射源以及方法

摘要

一种用于通过LPP（激光产生等离子体）或（双激光等离子体）由熔融金属燃料液滴束流产生EUV的辐射源，具有：燃料液滴生成装置，配置成提供燃料液滴束流；和至少一个激光器，配置成蒸发所述燃料液滴中的至少一些，由此产生辐射。所述燃料液滴生成装置包括喷嘴、燃料供给线和贮液器，其中泵送装置配置成通过燃料供给线由贮液器供给熔融金属燃料流并将其作为液滴束流从喷嘴排出。燃料液滴生成装置包括燃料供给线中的可更换过滤器组件，配置成在使用中过滤熔融金属燃料，以阻止喷嘴被燃料中的固体颗粒杂质堵塞。

主权项

一种辐射源，具有燃料液滴生成装置和至少一个激光器，所述燃料液滴生成装置配置成提供燃料液滴束流，所述至少一个激光器配置成将所述燃料液滴中的至少一些蒸发，由此产生辐射，所述燃料液滴生成装置包括：喷嘴；燃料供给线；贮液器；泵送装置，配置成通过燃料供给线由贮液器供给熔融金属燃料流并将熔融金属燃料流作为液滴束流从喷嘴排出；和燃料供给线中的可更换过滤器组件，配置成在使用中过滤所述熔融金属燃料，该可更换过滤器组件包括具有相反的第一面和第二面的刚性支撑板，设有一个或更多个通道，每个通道从第一面中的相应的第一孔口延伸通过第二面中相应的第二孔口，并且该刚性支撑板用于支撑过滤器隔膜，所述过滤器隔膜在第一面上并且在第一面的每个第一孔口上延伸，其中过滤器隔膜包括其中相互间隔开的孔洞，其中每个第一孔口与多个孔洞对准以在多个孔洞和相应的通道之间提供流体连接。