| 发明名称 | 一种掩模板及掩膜组件 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种掩模板，包括掩模板本体及形成在所述掩模板本体上的蒸镀孔，所述蒸镀孔贯穿所述掩模板本体，所述掩模板包括蒸镀面和ITO面，其特征在于：所述蒸镀孔在所述ITO面设有凹槽区域，在所述蒸镀孔的中心轴线所在的截面上，所述蒸镀面的蒸镀孔的边缘线呈外扩式喇叭状。利用本实用新型提供的掩模板，蒸镀时可以减小蒸镀孔的孔壁对蒸镀材料的遮挡，蒸镀孔在ITO面设有凹槽区域可以防止掩模板蒸镀孔的边缘变形划伤沉积基板。 | ||
| 申请公布号 | CN203569175U | 申请公布日期 | 2014.04.30 |
| 申请号 | CN201320617776.9 | 申请日期 | 2013.10.09 |
| 申请人 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 发明人 | 魏志凌;高小平;魏志浩;潘世珎;许镭芳 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C25D1/10(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种掩模板，包括掩模板本体及形成在所述掩模板本体上的蒸镀孔，所述蒸镀孔贯穿所述掩模板本体，所述掩模板包括蒸镀面和ITO面，其特征在于：所述蒸镀孔在所述ITO面设有凹槽区域，在所述蒸镀孔的中心轴线所在的截面上，所述蒸镀面的蒸镀孔的边缘线呈外扩式喇叭状。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 | ||