可适应变阻抗激光器的射频信号调整方法及射频功率源

摘要

本发明公开了一种可适应变阻抗激光器的射频信号调整方法及射频功率源，采用在CO₂激光器工作初期采用功率源脉冲工作的模式，逐渐使激光器达到辉光状态后（即激光器阻抗变低后）逐渐加宽功率源的脉冲宽度，当激光器阻抗恒定后，功率源连续工作，这样10KW的功率源就可以连续的输出10KW的功率，而不需要采用20KW的功率源只能输出10KW的功率，提高设备的利用率，也降低了成本。

主权项

一种射频功率源，其特征在于，包括：信号源、功率放大器和定向耦合器；所述信号源，用于向所述功率放大器输出预定占空比的射频信号，并根据所述定向耦合器发送来的前向功率和反向功率实时调整输出的射频信号的占空比，使输出的射频信号适应所述激光器阻抗的变化，在所述激光器阻抗恒定后，输出恒定的占空比的射频信号；所述功率放大器，用于根据所述激光器的需要将所述信号源发送来的射频信号进行功率放大，并将功率发大后的射频信号发送给所述激光器；所述定向耦合器，用于实时采集所述功率放大器功率放大后的前向功率和反向功率，并将所述前向功率和所述反向功率发送给所述信号源。