CIGS膜的制法和使用其的CIGS太阳能电池的制法

摘要

为了提供即使在制造大面积元件时，也能低成本、再现性好地制造转换效率优异的CIGS膜的CIGS膜的制法和包括其的CIGS太阳能电池的制法，本发明包括：层叠工序，其中，在基板上以固相状态依次层叠包含铟、镓和硒的层（A）以及包含铜和硒的层（B）；加热工序，其中，对层叠了上述层（A）和层（B）的层叠体进行加热，使上述层（B）的铜和硒的化合物熔融并呈液相状态，由此使上述层（B）中的铜扩散到上述层（A）中，使晶体生长得到CIGS膜。

主权项

一种CIGS膜的制法，其特征在于，所述CIGS膜用作CIGS太阳能电池的光吸收层，该制法包括：层叠工序，其中，在基板上以固相状态依次层叠包含铟、镓和硒的层（A）以及包含铜和硒的层（B）；加热工序，其中，对层叠了所述层（A）和层（B）的层叠体进行加热，使所述层（B）熔融并呈液相状态，由此使所述层（B）中的铜扩散到所述层（A）中，使晶体生长得到CIGS膜。