发明名称 一种掩模板
摘要 本实用新型公开了一种掩模板,包括掩模板本体及形成在所述掩模板本体上的蒸镀孔,所述蒸镀孔贯穿所述掩模板本体,其特征在于:所述掩模板包括蒸镀面和ITO面,在所述蒸镀孔中心轴线所在的截面上,所述蒸镀孔的边缘线呈漏斗状,所述蒸镀面的蒸镀孔的孔壁与所述掩模板本体的板面的夹角为30°~60°。本实用新型通过电铸和激光切割混合工艺制作掩模板,通过电铸工艺制作掩模板蒸镀孔的精度高,通过激光切割工艺使蒸镀面的蒸镀孔的孔壁与掩模板本体具有30°~60°的夹角,可有效地减小蒸镀孔的孔壁对蒸镀材料的遮挡,很好地解决了现有技术中蒸镀孔开口精度不高以及蒸镀孔孔壁对蒸镀材料的遮挡的问题。
申请公布号 CN203569177U 申请公布日期 2014.04.30
申请号 CN201320675974.0 申请日期 2013.10.30
申请人 昆山允升吉光电科技有限公司 发明人 魏志凌;高小平;赵录军;许镭芳
分类号 C23C14/04(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I 主分类号 C23C14/04(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种掩模板,包括掩模板本体及形成在所述掩模板本体上的蒸镀孔,所述蒸镀孔贯穿所述掩模板本体,其特征在于:所述掩模板包括蒸镀面和ITO面,在所述蒸镀孔中心轴线所在的截面上,所述蒸镀孔的边缘线呈漏斗状。
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