一种可部分重复利用的还原炉石墨电极

摘要

本实用新型涉及一种可部分重复利用的还原炉石墨电极，它包括：石墨底座，石墨盖，石墨夹瓣，石墨底座为柱型结构，底面有与金属电极相互配合的凹槽台面，上部有与石墨盖配合的螺纹，石墨盖为台锥形，中心通孔，底部内孔设有与石墨底座匹配的螺纹，顶部内孔有与石墨夹瓣配合的斜面，石墨夹瓣为三瓣结构，其在中心通孔的圆锥体上每隔120°处做开口，成为三瓣。所述的石墨底座的螺纹圈数为M，石墨盖的螺纹圈数分别为M或M-2或M-2*2。本实用新型在于多晶硅生长过程中，气相沉积的多晶硅只能够渗入到上紧的螺纹的第二圈，通过螺纹的密封并设置不同螺纹圈数的石墨盖，就能够使石墨底座多次利用。

主权项

一种可部分重复利用的还原炉石墨电极，它包括：石墨底座(1)、石墨盖(2)、石墨夹瓣(3)，其特征在于：石墨底座(1)为柱型结构，底面有与金属电极相互配合的凹槽台面，上部有与石墨盖(2)配合的螺纹，石墨盖(2)为台锥形，中心通孔，底部内孔设有与石墨底座(1)匹配的螺纹，顶部内孔有与石墨夹瓣(3)配合的斜面，石墨夹瓣(3)为三瓣结构，其在中心通孔的圆锥体上每隔120°处做开口，成为三瓣。