Plasmaerzeugungsvorrichtungsanordnung, Lichtbogenabschwächungsvorrichtung und Verfahren zum Aufbau einer Plasmaerzeugungsvorrichtungsanordnung

摘要

Eine Plasmaerzeugungsvorrichtungsanordnung (302) enthält eine Basis (303), die einen inneren Bereich und eine obere Fläche (310) enthält, die mehrere Öffnungen (328) definiert, die sich durch die obere Fläche hindurch erstrecken. Die Plasmaerzeugungsvorrichtungsanordnung enthält ferner eine Plasmaerzeugungsvorrichtung (206) und mehrere Koppelelemente (326). Die Plasmaerzeugungsvorrichtung ist an der oberen Fläche positioniert und konfiguriert, um ablatives Plasma auszusenden, wenn die Plasmaerzeugungsvorrichtung aktiviert ist. Die mehreren Koppelelemente erstrecken sich durch die mehreren Öffnungen hindurch und sind konfiguriert, um die Plasmaerzeugungsvorrichtung mit der oberen Fläche zu koppeln.