| 发明名称 | 基板烘烤装置及其温度调节方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种基板烘烤装置及其温度调节方法，该基板烘烤装置包括：用于对基板进行烘烤的烘烤设备本体，其包括由若干个分区热板构成的热板，和温度调整机构，用于调整烘烤设备本体的各分区热板的加热温度。所述热板上设有导热层，所述导热层覆盖各分区热板。该基板烘烤装置能提高基板的膜厚均匀性。 | ||
| 申请公布号 | CN103760753A | 申请公布日期 | 2014.04.30 |
| 申请号 | CN201310752239.X | 申请日期 | 2013.12.31 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 姚江波 |
| 分类号 | G03F7/38(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/38(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人 | 吴大建;刘华联 |
| 主权项 | 一种基板烘烤装置，其特征在于，包括：用于对基板进行烘烤的烘烤设备本体，其包括由若干个分区热板构成的热板，和温度调整机构，用于调整烘烤设备本体的各分区热板的加热温度。 | ||
| 地址 | 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 | ||