一种聚合物隔膜上的金属膜的单脉冲激光烧蚀

摘要

一种包括空间选择性地用一种激光系统的输出光束以一种预定的图案照射在一种聚合物基板与该聚合物基板上的一种金属膜之间的界面的方法。该聚合物基板对该激光系统的输出光束是实质上透明的；该金属膜吸收大部分的输出光束。激光系统输出包括一个脉冲序列。选择该激光系统的在该聚合物/金属界面处的光束大小、脉冲能量、波长和脉冲持续时间，从而使得来自该激光系统的、照射该聚合物/金属界面的一个区域的每个脉冲把被照射的区域的至少一部分通过烧蚀实质上完全地去除，而不会实质上更改该聚合物基板的表面或本体以及不会在该聚合物基板或金属膜的剩下的区域上留下在通过激光照射熔融之后再固化的实质性的金属残余物。

主权项

一种包括空间选择性地用一种激光系统的输出光束以一种预定的图案照射在一种聚合物基板与该聚合物基板上的一种金属膜之间的界面的方法，其中：（a）该聚合物基板对该激光系统的输出光束是实质上透明的；（b）该激光系统的输出包括一个脉冲序列；和（c）选择该激光系统的在该聚合物/金属界面处的光束大小、脉冲能量、波长和脉冲持续时间，从而使得来自该激光系统的、照射该聚合物/金属界面的一个区域的每个脉冲把被照射的区域的至少一部分通过烧蚀实质上完全地去除，而不会实质上更改该聚合物基板的表面或本体以及不会在该聚合物基板或金属膜的剩下的区域上留下在通过激光照射熔融之后再固化的实质性的金属残余物。