Hybrid integriertes Bauteil

摘要

Es werden Maßnahmen für ein Bauteil (100) mit mindestens einem MEMS-Bauelement (10) und mit mindestens einer Kappe (20) aus einem Halbleitermaterial vorgeschlagen, durch die die Kappe (20) zusätzlich zu seiner mechanischen Funktion als Abschluss eines Hohlraums und Schutz der mikromechanischen Struktur mit einer elektrischen Funktionalität ausgestattet werden kann. Die mikromechanische Struktur des MEMS-Bauelements (10) eines solchen Bauteils (100) ist in dem Hohlraum zwischen einem Träger (1) und der Kappe (20) angeordnet und umfasst mindestens ein Strukturelement (11), das innerhalb des Hohlraums aus der Bauelementebene auslenkbar ist. Erfindungsgemäß soll die Kappe (20) mindestens einen sich über die gesamte Dicke der Kappe (20) erstreckenden Abschnitt (21, 22) umfassen, der so gegen das angrenzende Halbleitermaterial elektrisch isoliert ist, dass er unabhängig von den übrigen Abschnitten der Kappe (20) elektrisch kontaktierbar ist.