Substratbehandlungsanlage

摘要

Substratbehandlungsanlage mit einer Anlagenkammer (1), die eine Eingangsschleuse und eine Ausgangsschleuse sowie innerhalb der Anlagenkammer (1) eine Transporteinrichtung (2) zum Transport der Substrate (3) in einer Transportrichtung (4) von der Eingangsschleuse zur Ausgangsschleuse sowie mindestens eine Heizeinrichtung zur Beheizung von Substraten (3) aufweist, wobei die Heizeinrichtung mehrere Quarzrohrheizer (5) umfasst mit einem Quarzrohr (51), mindestens einem im Quarzrohr (51) angeordneten Heizelement (54) sowie Stromanschlüssen, die an einem Anschlussende (52) des Quarzrohrs (51) angeordnet sind, wobei das Anschlussende (52) des Quarzrohrs (51) abgewinkelt ist und mittels einer Vakuumdurchführung (6) von der Innenseite zur Außenseite der Anlagenkammer (1) geführt ist, so dass die Stromanschlüsse außerhalb der Anlagenkammer (1) angeordnet sind, und wobei die Energieabgabe der aus mehreren Quarzrohrheizern (5) gebildeten Heizeinrichtung dadurch abschnittsweise variabel gestaltet ist, dass mindestens ein Quarzrohrheizer (5) ein Heizelement (54) enthält, welches sich nur über einen Teil der Gesamtlänge des geraden Stabes (53) erstreckt.