一种新型图形化衬底及其制备方法

摘要

本发明公布了一种新型图形化衬底以及制备方法，该衬底图形为非周期性的阵列结构，图形排布具有长程有序而短程无序的特性，其傅里叶变换呈现高阶转动对称性。本发明的图形衬底可以有效提高GaN基LED的出光效率。本发明制备方法简单易行，与现有的图形化衬底工艺匹配，适用于工业化生产。

主权项

本发明一种新型图形化衬底，包括衬底本体和覆盖其表面的图形凸起，其特征在于，所述图形凸起呈阵列排布，所述阵列排布呈现长程有序短程无序性。