研磨速率侦察装置、研磨设备及实时侦察研磨速率的方法

摘要

本发明提出研磨速率侦察装置、研磨设备及实时侦察研磨速率的方法，通过侦察带动研磨垫整理盘的马达的电压值来实时监控研磨速率，这样可以保证在研磨的过程中研磨速率在设定的范围之内，提高化学机械研磨的稳定性，从而提高研磨的效率并降低晶圆的成本。

主权项

一种研磨速率侦察装置，应用于研磨机台中，所述研磨侦察装置能够实时侦察所述研磨机台的研磨速率，其特征在于，包括：一研磨垫整理盘；与所述研磨垫整理盘连接的用于驱动所述研磨垫整理盘的马达；与所述马达连接的用于实时显示所述马达的工作电压的电压侦测器；其中，所述研磨速率侦察装置和所述研磨机台启动时，所述马达驱动所述研磨垫整理盘转动，所述研磨垫整理盘通过所述研磨机台的研磨速率的改变使所述马达的输出功率改变，所述电压侦测器根据所述马达的输出功率实时显示所述马达的工作电压。