大型中、高真空抽气机组及其抽气工艺

摘要

一种大型中、高真空抽气机组及其抽气工艺，采用并联抽气的深冷水汽泵、牵引分子泵和化学吸附泵机组，取代传统串联抽气的扩散泵+罗茨泵机组。其中，牵引分子泵用于抽除压强几百Pa~几Pa区段的气体；深冷水汽泵和牵引分子泵并联，用于抽除压强几Pa~10^-2Pa区段的气体；牵引分子泵、深冷水汽泵和化学吸附泵并联，用于抽除≤10^-2Pa区段的气体；从而实现提高中、高真空交接区段的抽气能力，降低抽气能耗和运行成本，消除油蒸汽污染和提高真空产品质量。

主权项

一种大型中、高真空抽气机组，包括真空室，其特征在于，所述真空室分别与一粗抽泵、一牵引分子泵、一深冷水汽泵和一化学吸附泵连接，所述牵引分子泵的排气口与一前级泵连接。