多瓶杜瓦罐夹层抽真空系统及其真空抽取方法

摘要

一种多瓶杜瓦罐夹层抽真空系统及其真空抽取方法，包括有真空机组、三通管件A、旁通阀、前级阀、三通管件B、维持阀、维持泵、系统主泵、水冷阱、三通系统主阀、液氮冷阱和真空系统管路，其中真空机组中包括有主机械泵和增压泵，真空系统管路上间隔设置有杜瓦罐夹层口接口，真空系统管路上还设置有热氮接口。本发明涉及一种抽杜瓦罐的夹层用的真空抽气系统及真空抽取方法，所述真空抽气系统可以一次性抽多支杜瓦罐，效率非常高，解决了杜瓦罐的大批量生产的问题，节约了大量的人力物力；所述真空抽取方法工序简单，所以大大降低了杜瓦罐夹层的真空抽取操作时间，不会造成资源的浪费。

主权项

一种多瓶杜瓦罐夹层抽真空系统，其特征在于：包括有真空机组（1）、三通管件A（2）、旁通阀（3）、前级阀（4）、三通管件B（5）、维持阀（6）、维持泵（7）、系统主泵（8）、水冷阱（9）、三通系统主阀（10）、液氮冷阱（11）和真空系统管路（12），其中真空机组（1）中包括有主机械泵（19）和增压泵（20），真空系统管路（12）上间隔设置有杜瓦罐夹层口接口（13），真空系统管路（12）上还设置有热氮接口（14）；所述主机械泵（19）的吸气端与增压泵（20）的出气端连通，增压泵（20）的吸气端与三通管件A（2）的第一个端口连通，三通管件A（2）的第二个端口通过前级阀（4）与三通管件B（5）的第一个端口连通，三通管件B（5）的第二个端口通过维持阀（6）与维持泵（7）的吸气端连通，三通管件B（5）的第三个端口与系统主泵（8）的出气端连通，系统主泵（8）的吸气端通过水冷阱（9）与三通系统主阀（10）的第一个端口连通，三通系统主阀（10）的第二个端口通过旁通阀（3）与三通管件A（2）的第三个端口连通，三通系统主阀（10）的第三个端口通过液氮冷阱（11）与真空系统管路（12）连通。