中心波长6557nm的医用红外气体检测分析滤光片

摘要

本实用新型所设计的一种测试精度高、能极大提高信噪比的中心波长6557nm的医用红外气体检测分析滤光片，包括以Si为原材料的基板，以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，该中心波长6557nm的医用红外气体检测分析滤光片，其中心波长6557±50nm，其在医用红外气体检测分析过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度。该滤光片的峰值透过率Tp≥80％、带宽=170±20nm，400～11000nm（除通带外），Tavg<0.5%。

主权项

一种中心波长6557nm的医用红外气体检测分析滤光片，包括以Si为原材料的基板，以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其特征是：所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有：81nm厚度的Ge层、553nm厚度的SiO层、207nm厚度的Ge层、180nm厚度的SiO层、398nm厚度的Ge层、728nm厚度的SiO层、78nm厚度的Ge层、332nm厚度的SiO层、219nm厚度的Ge层、319nm厚度的SiO层、132nm厚度的Ge层、535nm厚度的SiO层、123nm厚度的Ge层、331nm厚度的SiO层、306nm厚度的Ge层、488nm厚度的SiO层、76nm厚度的Ge层、373nm厚度的SiO层、336nm厚度的Ge层、398nm厚度的SiO层、168nm厚度的Ge层、766nm厚度的SiO层、297nm厚度的Ge层、744nm厚度的SiO层、254nm厚度的Ge层、277nm厚度的SiO层、352nm厚度的Ge层、709nm厚度的SiO层、348nm厚度的Ge层、360nm厚度的SiO层、126nm厚度的Ge层和200nm厚度的SiO层；所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有：395nm厚度的Ge层、763nm厚度的ZnS层、395nm厚度的Ge层、3051nm厚度的ZnS层、395nm厚度的Ge层、763nm厚度的ZnS层、395nm厚度的Ge层、763nm厚度的ZnS层、395nm厚度的Ge层、763nm厚度的ZnS层、395nm厚度的Ge层、1525nm厚度的ZnS层、395nm厚度的Ge层、719nm厚度的ZnS层、349nm厚度的Ge层和348nm厚度的ZnS层。