湿式镀膜系统

摘要

本发明涉及一种湿式镀膜系统，其包括选择性地相互连通的一个镀膜室、一个退火室及一个设置在该退火室上的腔门。该镀膜室内包括一个用于对至少一个待镀膜基板进行镀膜的湿式镀膜装置及一个夹持手臂。该夹持手臂用于夹持该湿式镀膜装置并驱动该湿式镀膜装置在镀膜室及退火室内自由移动。该至少一个待镀膜基板在该湿式镀膜装置上的装卸通过该腔门在该退火室内进行。该退火室内包括一加热装置，该加热装置用于对该湿式镀膜装置产生的镀膜基板进行加热，该加热后的镀膜基板在该退火室内冷却。该湿式镀膜系统，通过在相互连通的镀膜室、退火室内进行镀膜及加热，从而可避免因该镀膜基板在空气中的移动而带来的氧化问题，提升了镀膜良率。

主权项

一种湿式镀膜系统，其特征在于，其包括选择性地相互连通的一个镀膜室、一个退火室、一个与该退火室选择性连通的装卸室及一个设置在该装卸室上的腔门，该镀膜室内包括用于对至少一个待镀膜基板进行镀膜的一个湿式镀膜装置及一个夹持手臂，该夹持手臂用于夹持该湿式镀膜装置并驱动该湿式镀膜装置在镀膜室、装卸室及退火室内自由移动，该至少一个待镀膜基板在该湿式镀膜装置上的装卸通过该腔门在该装卸室内进行，该退火室内包括一加热装置，该加热装置用于对该湿式镀膜装置产生的镀膜基板进行加热，该加热后的镀膜基板在该退火室内冷却，该镀膜室内还包括一个用于导入氮气的进气装置及一个用于导出气体的排气装置，该排气装置导走该镀膜室内的挥发气体。