太阳能晶片的掺杂方法以及掺杂晶片

摘要

本发明公开了一种太阳能晶片的掺杂方法包括以下步骤：在N型基底表面设置第一掩模板，该N型基底表面上未被该第一掩模板覆盖的区域为第一开放区域；在N型基底表面形成N+型掺杂区域；在N型基底表面设置第二掩模板，该N型基底表面上未被该第一掩模板和该第二掩模板覆盖的区域为第二开放区域；在N型基底表面形成P+型掺杂区域，其中该N+型掺杂区域与该P+型掺杂区域互不接触；去除该第一掩模板与该第二掩模板，其中，所述的P型替换为N型时，N型同时替换为P型。本发明还公开了一种掺杂晶片。本发明中P+型掺杂区域与N+型掺杂区域之间具有N型基底材料作为缓冲层，使得PN结之间不会因为耗尽层太薄而导致被击穿，由此提高了该掺杂晶片的使用寿命。

主权项

一种太阳能晶片的掺杂方法，其特征在于，其包括以下步骤：步骤S₁、在N型基底表面设置第一掩模板，该N型基底表面上未被该第一掩模板覆盖的区域为第一开放区域；步骤S₂、在N型基底表面形成N+型掺杂区域，其中该N+型掺杂区域形成于该N型基底表面上与该第一开放区域相对应的区域；步骤S₃、在N型基底表面设置第二掩模板，该N型基底表面上未被该第一掩模板和该第二掩模板覆盖的区域为第二开放区域；步骤S₄、在N型基底表面形成P+型掺杂区域，其中该P+型掺杂区域形成于该N型基底表面上与该第二开放区域相对应的区域，其中该N+型掺杂区域与该P+型掺杂区域互不接触；步骤S₅、去除该第一掩模板与该第二掩模板，其中，P型替换为N型时，N型同时替换为P型。