| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft einen Polierkopf, der so aufgebaut ist, dass er während des Polierens eines Werkstücks das Werkstück hält, indem eine Vorderfläche des Werkstücks mit einem an einem Drehtisch angebrachten Polierkissen in Gleitkontakt gebracht wird, wobei der Polierkopf umfasst: eine Werkstückhalteplatte, die so aufgebaut ist, dass sie eine Rückfläche des Werkstücks hält, wobei die Werkstückhalteplatte flexibel ist und aus Keramik besteht; einen abgedichteten Raum, der an einer Fläche der Werkstückhalteplatte auf einer gegenüberliegenden Seite einer Fläche begrenzt ist, an der das Werkstück gehalten wird; und eine Drucksteuereinrichtung, die so aufgebaut ist, dass sie den Druck im abgedichteten Raum steuert, wobei der Polierkopf in der Lage ist, eine Form der flexiblen Werkstückhalteplatte auf eine konvexe Form oder eine konkave Form einzustellen, indem der Druck in dem abgedichteten Raum durch die Drucksteuereinrichtung gesteuert wird. Der Polierkopf verhindert ein Ansteigen des äußeren Umfangsabschnitts des Werkstücks in der Anfangsphase der Lebenszeit eines Stützfilms, wodurch es möglich ist, dass ein Werkstück zu einem sehr ebenen Werkstück poliert wird, und zwar ungeachtet der Werkstückform vor dem Polieren.</p> |
