| 摘要 |
<p>1. Устройство для нанесения однородных гладких тонких пленок различных материалов на твердые подложки методом импульсного лазерного испарения, включающее вакуумную камеру с расположенными в ней узлом мишени, скоростным фильтром и узлом подложек,отличающееся тем, что в качестве подложки использована длинномерная гибкая металлическая лента на катушке с механизмом протяжки, скоростной фильтр выполнен в виде вращающегося диска с отверстием для прохождения испаренного вещества и снабжен устройством синхронизации лазера.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что узел мишени выполнен с возможностью смены мишени в процессе нанесения пленки.</p> |
