| 摘要 |
1. Фоточувствительный генератор кислоты для позитивного фоторезиста, содержащий соединение на основе производных перфторсульфокислот, отличающийся тем, что в качестве фоточувствительного генератора кислоты используют соединение перфтор-3,6-диокса-4-метилоктансульфонат трифенилсульфония формулы: CFCFOCFCF(CF)OCFCFSOS(СН), которое получают при нагреве до температуры кипения в течение 4-6 ч смеси реагентов трифенилсульфоний бромид, перфтор-3,6-диокса-4-метилоктансульфонат калия в присутствии растворителя, в последующем охлаждении, фильтровании, упаривании и в сушке полученного продукта, при этом в качестве растворителя используют хлороформ, а смесь реагентов имеет следующее весовое соотношение: трифенилсульфоний бром: перфтор-3,6-диокса-4-метилоктансульфоната калия, как 1:(1,45-1, 55) и при 10,7-11,0 вес.ч. указанного растворителя на смесь реагентов.2. Фоточувствительный генератор кислоты для позитивного фоторезиста по п.1, отличающийся тем, что растворитель упаривают в вакууме при 20 мм рт.ст., остаток сушат в вакууме 0,5 мм рт.ст. при температуре 35-40°С.3. Фоточувствительный генератор кислоты для позитивного фоторезиста по п.1, отличающийся тем, что фоточувствительный генератор кислоты в количестве 2-8 мас.% используют в полимерной основе, которую синтезируют методом радикальной сополимеризации трет-бутоксикарбонилоксистирола с метилметакрилатом и метакриловой кислотой при следующем содержании соответствующих реагентов в исходной смеси: 70:10:20 мас.% или 60:20:20 мас.%. |
