发明名称 Substrates transfer apparatus
摘要
申请公布号 KR200472388(Y1) 申请公布日期 2014.04.25
申请号 KR20090015762U 申请日期 2009.12.04
申请人 发明人
分类号 B65G13/06;B65G49/06;G02F1/13;H01L21/677 主分类号 B65G13/06
代理机构 代理人
主权项
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