发明名称 Verfahren zum Bilden von einer Durchkontaktierung in einer integrierten Schaltung eines Halbleiterpackages
摘要 Ein Verfahren zum Bilden von einer Durchkontaktierung (612) in einer integrierten Schaltung eines Halbleiterpackages, umfassend: Entfernen von Material von einem Silizium-Chip (602); und Verwenden einer Elektroplattier-Technik zum Bilden einer elektrisch leitfähigen Durchkontaktierung (612) aus einem elektrisch leitfähigen Material, das von dem des Chip unterschiedlich ist, in dem Chip, wobei das elektrisch leitfähige Material der elektrisch leitfähigen Durchkontaktierung ein Komposit einer elektrisch leitfähigen Matrix, die eine elektrisch leitfähige kontinuierliche Phase bildet, und eingebetteter Partikel, die eine dispergierte Phase innerhalb der elektrisch leitfähigen Matrix bilden, ist, wobei die eingebetteten Partikel einen reduzierten CTE relativ zum CTE der elektrisch leitfähigen Matrix aufweisen, wobei das Elektroplattieren weiter Anlegen eines Treiberpotentials an eine erste Konzentration der eingebetteten Partikel zur Verursachung einer zweiten Konzentration der eingebetteten Partikel in dem Material der elektrisch leitfähigen Durchkontaktierung umfasst.
申请公布号 DE112006001431(B4) 申请公布日期 2014.04.24
申请号 DE20061101431T 申请日期 2006.06.29
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 ARANA, LEONEL;NEWMAN, MICHAEL;NATEKAR, DEVENDRA
分类号 H01L21/60;H01L21/768;H01L23/48 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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