polishing pad conditioner in chemical mechanical polishing apparatus,申请号KR20120009347U-传众专利搜索

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发明名称	polishing pad conditioner in chemical mechanical polishing apparatus
摘要
申请公布号	KR20140002382(U)	申请公布日期	2014.04.24
申请号	KR20120009347U	申请日期	2012.10.16
申请人		发明人
分类号	B24B49/12;G01B11/16;H01L21/304	主分类号	B24B49/12
代理机构		代理人
主权项
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