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发明名称 Method of etching solid silicon
摘要
申请公布号 GB977458(A) 申请公布日期 1964.12.09
申请号 GB19610000409 申请日期 1961.01.04
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人
分类号 C01B33/02;H01L21/306;H01L21/3065 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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