| 摘要 |
<p>Ein Rastertransmissionselektronenmikroskop nach der vorliegenden Erfindung umfasst ein Elektronenlinsensystem mit einem kleinen Öffnungsfehlerkoeffizienten zur Ermöglichung der dreidimensionalen Beobachtung oder Untersuchung einer Struktur mit einer atomaren Größe von 0,1 nm. Das Rastertransmissionselektronenmikroskop nach der vorliegenden Erfindung umfasst außerdem eine Blende, die in der Lage ist, einen Beleuchtungswinkel zu ändern, ein Beleuchtungs-Elektronenlinsensystem, das in der Lage ist, die Sondengröße einer Elektronenstrahlsonde und den Beleuchtungswinkel zu ändern, einen Sekundärelektronendetektor (9), einen Transmissionselektronendetektor (13), einen Detektor (12) für vorwärts gestreute Elektronen, eine Fokussiereinheit (16) einen Bildprozessor für die Identifizierung des Bildkontrastes, einen Bildprozessor für die Berechnung der Bildschärfe, einen Prozessor für die dreidimensionale Rekonstruktion eines Bildes und einen Mischer (18) zum Mischen eines Sekundärelektronensignals und eines von der Probe vorwärts gestruten Elektronensignals.</p> |
